ინდუქციური გათბობა MOCVD

ინდუქციური გათბობის მეტაორგანული ქიმიური ორთქლის დეპონირების რეაქტორები (MOCVD) არის ტექნოლოგია, რომელიც მიზნად ისახავს გათბობის ეფექტურობის გაუმჯობესებას და მავნე მაგნიტური შეერთების შემცირებას გაზის შესასვლელთან. ჩვეულებრივი ინდუქციური გათბობის MOCVD რეაქტორებს ხშირად აქვთ ინდუქციური ხვეული, რომელიც მდებარეობს კამერის გარეთ, რამაც შეიძლება გამოიწვიოს ნაკლებად ეფექტური გათბობა და პოტენციური მაგნიტური ჩარევა გაზის მიწოდების სისტემაში. Ბოლო … წაიკითხე მეტი